Substrat MgF2
Description
MgF2 est utilisé comme lentille, prisme et fenêtre pour une longueur d'onde de 110 nm à 7,5 μm.C'est un matériau le plus approprié comme fenêtre pour le laser ArF Excimer, en raison de sa bonne transmission à 193 nm.Il est également efficace comme polarisant optique dans la région ultraviolette.
Propriétés
| Densité (g/cm)3） | 3.18 |
| Point de fusion (℃) | 1255 |
| Conductivité thermique | 0,3 Wm-1K-1 à 300K |
| Dilatation thermique | Axe C parallèle 13,7 x 10-6 /℃ 8,9 x 10-6 /℃ axe C perpendiculaire |
| Dureté du bouton | 415 avec pénétrateur 100g (kg/mm2) |
| La capacité thermique spécifique | 1003 J/(kg.k) |
| Constante diélectrique | 1,87 à 1 MHz axe C parallèle 1,45 à 1 MHz axe C perpendiculaire |
| Module de Young (E) | 138,5 GPa |
| Module de cisaillement (G) | 54,66 GPa |
| Module de masse (K) | 101,32 GPa |
| Coefficient élastique | C11 = 164 ;C12 = 53 ;C44=33,7 C13 = 63 ;C66=96 |
| Limite élastique apparente | 49,6 MPa (7 200 psi) |
| Coefficient de Poisson | 0,276 |
Définition du substrat MgF2
Le substrat MgF2 fait référence à un substrat constitué d'un matériau cristallin de fluorure de magnésium (MgF2).MgF2 est un composé inorganique composé d’éléments magnésium (Mg) et fluor (F).
Les substrats MgF2 possèdent plusieurs propriétés notables qui les rendent populaires dans diverses applications, notamment dans les domaines de l'optique et du dépôt de couches minces :
1. Haute transparence : MgF2 présente une excellente transparence dans les régions ultraviolettes (UV), visibles et infrarouges (IR) du spectre électromagnétique.Il possède une large plage de transmission allant de l'ultraviolet à environ 115 nm à l'infrarouge à environ 7 500 nm.
2. Faible indice de réfraction : MgF2 a un indice de réfraction relativement faible, ce qui en fait un matériau idéal pour les revêtements AR et l'optique, car il minimise les réflexions indésirables et améliore la transmission de la lumière.
3. Faible absorption : MgF2 présente une faible absorption dans les régions spectrales ultraviolette et visible.Cette propriété le rend utile dans les applications nécessitant une clarté optique élevée, telles que les lentilles, les prismes et les fenêtres pour les faisceaux ultraviolets ou visibles.
4. Stabilité chimique : MgF2 est chimiquement stable, résistant à un large éventail de produits chimiques et conserve ses propriétés optiques et physiques dans un large éventail de conditions environnementales.
5. Stabilité thermique : MgF2 a un point de fusion élevé et peut résister à des températures de travail élevées sans dégradation significative.
Les substrats MgF2 sont couramment utilisés dans les revêtements optiques, les processus de dépôt de couches minces et les fenêtres ou lentilles optiques dans divers dispositifs et systèmes.Ils peuvent également servir de couches tampons ou de modèles pour la croissance d’autres films minces, tels que des matériaux semi-conducteurs ou des revêtements métalliques.
Ces substrats sont généralement produits à l'aide de techniques telles que le dépôt en phase vapeur ou les méthodes de transport physique de vapeur, dans lesquelles le matériau MgF2 est déposé sur un matériau de substrat approprié ou cultivé sous forme de monocristal.Selon les exigences de l'application, les substrats peuvent se présenter sous la forme de tranches, de plaques ou de formes personnalisées.
